项目名称

独山中科晶元信息材料有限公司

新型半导体材料生产建设项目

项目规模

144台3-6英寸砷化镓晶体材料生产线，计划年产砷化镓晶体材料4英寸60万毫米

业务范围

独山中科晶元信息材料有限公司新型半导体材料生产建设项目的竣工、试运行正常后的主要危险有害因素分析，相关安全设施和措施的有效性以及安全条件、安全生产条件的评价和安全管理等。。

合同期限

2019年4月—2019年6月

项目类别

安全验收评价

报告提交时间

2019年6月

安全评价过程控制情况

安全评价项目管理

项目组长

技术负责人

过程控制负责人

陈贞祥

熊加春

胡雪莲

安全评价报告编制过程

报告编制人

报告审核人

陈贞祥 1600000000201345

石海军 1500000000300330

钟正成1100000000301824

安全评价项目参与人员

安全评价师

注册安全工程师

技术专家及技术人员

陈贞祥1600000000201345

石海军1500000000300330

简林淞1600000000301516

石胜江1800000000301073

陈贞祥

无

安全评价项目现场开展工作情况

现场勘察人员

勘察时间及任务

现场勘察照片

陈贞祥

石海军

2019.5.3-5月28日两次到现场收集资料、考查周边环境、平面布置、设备设施等情况。

附后

安全评价项目简介

独山中科晶元信息材料有限公司是在LED引领时代发展的大背景下，由江苏中科晶元信息材料有限公司投资，于2016年11月28日在贵州黔南布依族苗族自治州独山县经济开发区（麻万镇麻抹村交抹组）注册登记成立的一家高新技术企业，注册资本金500万元,公司隶属于中科晶电信息材料（北京）股份有限公司集团。

该项目在贵州独山县麻万镇独山经济开发区内空闲厂房处建设实施，公司利用现有空闲工业厂房建设新型半导体材料生产线，包括动力辅助区、生产区域、检测区域、空调、机房和办公区等区域。项目工艺设备、仪器及其配套件等由江苏中科以设备出资方式提供，规模为144台3-6英寸砷化镓晶体材料生产线，计划年产单晶砷化镓晶体材料4英寸60万毫米。该项目产品为单晶砷化镓，根据《危险化学品目录》（2015版），砷化镓是目录序号为1926的危险化学品；根据《危险化学品生产企业安全生产许可证实施办法》(原国家安全生产监督管理总局令第41号，2015年79号令修改)辨识，该项目为新建危险化学品生产项目。

独山中科晶元信息材料有限公司是在LED引领时代发展的大背景下，由江苏中科晶元信息材料有限公司投资，于2016年11月28日在贵州黔南布依族苗族自治州独山县经济开发区（麻万镇麻抹村交抹组）注册登记成立的一家高新技术企业，注册资本金500万元。固定资产投资约4680万元，项目建设规模为144台3-6英寸砷化镓晶体材料生产线，计划年产砷化镓晶体材料4英寸60万毫米。全面达产后，公司预计可实现年收入10076.8万元，年利税 1449.86万元。系列产品主要用于制作LD（激光器）、LED（发光二极管）、光电集成电路（OEIC）、光伏器件、MESFET（金属半导体场效应管）、HEMT（高电子迁移率晶体管）、HBT（异质结双极晶体管）、IC、微波二极管、Hall器件等，广泛应用于光电子和微电子工业领域，系该领域最为重要的支撑材料。公司隶属于中科晶电信息材料（北京）股份有限公司集团。依托集团平台，公司拥有达世界先进、国内领先水平的砷化镓晶体材料制备技术和强大的研发、生产和销售团队。产品市场需求巨大、可持续发展能力非常强。

该项目先后委托了贵州兴威华科技咨询有限责任公司、山东鸿运工程设计有限公司 分别编制了安全条件评价报告和安全设施设计专篇，并获得了相应备案批复。该项目按照建设程序建设完成后，于2019年4月开始试生产，经过不断调试，目前，各项工艺参数运行正常。

本项目砷化镓生产过程主要包括备料、生长单晶、单晶加工、测试。具体生产工艺流程如下所示。

将多晶切割成工艺需要的尺寸规格，用砂纸打磨掉料的棱角，放入211溶液（氨水、双氧水、去离子水）中浸泡腐蚀至工艺要求，取出，去离子水冲洗干净，甲醇脱水后进装料房待用。

将PBN坩埚放入稀释后HF中浸泡，取出充分冲水后，用砂纸将表面打磨干净，送修整间，经修整后的PBN放入超声波震机清洗，取出，上烤炉高温（900℃）烘烤一定时间后进充氧区充氧，氧气由医用制氧机制得每台烤炉对应一台制氧机。烘烤完成后进装料房待用。

将石英管放入稀释后HF酸中浸泡，取出后充分冲水，再放入211溶液中浸泡规定时间，取出充分冲水，最后甲醇脱水后，进装料房待用。

用单晶体制成符合规格要求的晶种胚，将其放置在钻床上，选取合适的钻头将晶种胚初步制成晶种，再根据PBN晶种塞规的数据，在模块上进行磨制，最后用溴水腐蚀制工艺要求的规格，甲醇脱水后进装料房待用。

将处理好的多晶料、晶种、氧化硼按工艺要求放入PBN，再将PBN放入异型管中，放好帽、环，传递给焊管。

将异型管放到烤炉上，上好卡头，开机械泵，真空泵，使料在真空状态下低温（200℃）烘烤一定时间，厂房外的气瓶间经汇流排，连接管道，输送至烤炉区进行氢氧焰封焊。

单晶将炉芯组按照工艺要求调整，塞入单晶炉后，按要求调整位置，放入定量的石英棉后，将封焊好的异型管装入炉中，将黑棉、白棉按比例围压好，按指定位置放好TC，开炉。当料融到一定的程度时进行调温融种，放炉生长。当生长结束，温度降到一定的时候，晶体即可出炉。将出炉后的异型管破碎，取出生长好的晶体，将其放到甲醇中进行浸泡，直至晶体可以顺利的从PBN中脱出，记录好晶体的相关信息后，将PBN交接给PBN修整间，待下一步的处理使用；晶体则交接给晶加。

晶体放到外圆磨床上滚磨至工艺要求的直径尺寸，再放到内圆锯上切掉头尾，并取得头尾的测试片，送测试。按照测试的结果、客户的规格要求，在平面磨床上对晶体进行主边的加工，在研磨盘上进行副边的加工，最后在内圆锯上将基准面做好，入库。

建设项目位于独山县经济开发区区域内，开发区综合管网已建设完善，水源为城市自来水。建设项目用水主要为生活用水、生产用水及消防用水。本项目共有员工30人，员工食宿利用经开区现有的职工公寓，不在厂区食宿。厂区生活用水量为3.3m³/d，生产用水设计用水量为10.2m³/d，消防一次性最大用水量为180m³；项目给水系统采用为生活、消防合一给水系统。给水系统成网状布置，各节点处均设闸阀，可保证厂区内安全供水。

生产在租赁的经开区标准厂房内进行，厂房外的雨水经厂房四周的雨水沟排入经开区雨水管网，项目生产废水委托有处理资质的单位定期运走。生活污水经地埋式一体化生活污水处理设施处理后，达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）一级标准，排入经开区排污管网和污水处理厂，项目的生活污水经化粪池处理后，达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准直接排入经开区污水处理站。

本项目采用“雨污分流制”，生产废水经污水池收集后委托有处理资质的单位定期运走。生活污水经埋地式污水处理设备处理达标后排入经开区污水管网，此部分水量为7.5m3／d。

本项目生产车间内均设排水沟，排水沟均有一定的倾斜角度，便于生产废水排出生产车间，排入生产车间外的生产废水通过厂区污水管网排入污水处理厂，厂区污水管网根据厂区位置的标高进行布设，最大限度的利用污水自身重力进行排水。

项目供电利用经开区35kV南晶线（南简至晶科光电）和35kV古兔线（古塘至兔场）两路供电线路互为供电电源。在厂区内新建一个2500kVA的0.4kv配电站，对厂区供电。控制系统设置UPS不间断供电电源，保证供电时间不少于30min。

项目为两路电源供电，为防止电源意外情况，项目在厂房南侧墙外设置6台625KVA的柴油发电机，作为紧急供电电源，并设置BZT装置，当一路电源断电时自动切换到另一路电源供电，当两路电源均断电时才切换到柴油发电机供电。为了保证供电稳定单晶炉的计算机控制系统设置UPS供电电源，该UPS容量为1KVA/800W，共设置6具。

单晶生产装置采用计算机控制系统。厂区内危险化学品间设置甲醇气体检测报警仪；气瓶汇流排间设置氢气气体检测报警仪；烤炉区设置氢气气体检测报警仪；脱模区、清洗区设置甲醇气体检测报警仪，现场设置声光报警器，报警信号引至厂房中控室。厂区设置视频监控系统。本工程的视频监视系统由主控制器、显示终端和现场的摄像机等组成。主控设备设在中控室。各车间、进出入口等处设置摄像机。摄像机传输方式以光缆和视频电缆结合方式。厂房内设置一套火灾报警系统，项目中控室设置一部专用火灾报警电话。车间内设置报警按钮及声光报警器。

厂房内、危险化学品间、气瓶汇流排间按照《建筑灭火器配置设计规范》（GB50140-2005）进行配置。

厂房周边设置环形消防管网，厂房周围设置有DN65的消火栓。

该工程配置岗位员工30人。公司为保证单晶砷化镓生产过程中的安全作业，按照公司教育培训制度要求，从业人员均经过了相应岗位的作业培训。

公司从2019年2月开始收集原材料，准备进行试生产。于2019年2月25日开始进行试生产，试生产至2019年5月12日。在试使用期间，严格执行各项安全管理制度和操作规程，与试使用相关的各仓库装置、辅助系统统筹兼顾、首尾衔接、同步试车；所有安全设施与主体生产装置同步试车；机械、电气、仪表等操作人员紧密配合、协调工作，及时做好信息沟通，并做好测定数据的记录。加强巡回检查，及时发现问题；在出现异常情况时，各项目负责人能组织相关人员研究提出解决方案，难以及时消除并对安全有影响的，则中止运行，将危险因素、有害因素控制在安全范围内。

在试生产的过程中各装置安全设施、消防和环保等设施进行了各种负荷下的磨合，在试生产过程中对建设项目的各设施进行了检查，在试生产中未出现异常现象。各装置符合工艺流程要求，设备结构和设备性能符合工艺技术要求。安全部门每天有专职安全员对消防设施和器材进行检查，对仓库的危险物料做分类摆放，标识清楚。仓库的通风、照明、安全通道、灭火器材、阻火装置等设施都做好了规范和检查。消防设施及器材符合使用要求，消防通道畅通无阻，且在试使用期间有针对性的进行了全员消防培训和实战演习。

为所有生产作业人员在上岗前都发放了齐备的劳防用品，如各种手套、工作服等。生产作业人员在作业过程中都严格按照职业病预防规定的要求进行作业和佩戴劳动防护用品等。在整个试生产阶段未发生一起工伤事故。

在2个月年的试生产过程中，公司本着“安全生产，预防为主”的方针。对生产过程工艺的安全度、设备的安全度都经过了严格的生产考验，都达到了设计的要求。

公用工程中的水、电、气及各种原辅材物料供应正常，能满足生产使用的需要，道路、照明等满足试生产的需要，公司产品质量符合公司产品质量技术标准要求，各项设施、设备、装置运行正常，未出现任何大的问题。

在试生产的过程中不断的完善了各岗位工作指引，健全了异常情况的应急措施；强化工艺技术管理；并建立了一系列比较完善的管理制度；健全了安全管理体系。确保工艺安全等。

评价项目其他信息

无